三氯氢硅

DEI为三氯氢硅生产提供工艺定义包和基础设计，还提供开车协助、培训和优化咨询。

总工艺包括氯化氢和纯硅反应生成三氯氢硅和氢气：

此反应理论上的副产品包括四氯化硅，二氯二氢硅和各种氯硅烷（HxClySi2，其中x=0-6且y=6-x）。硅和氯化氢中的杂质混合在流体中，必须通过蒸馏和吸附除去以获得电子级别的三氯氢硅。控制好工艺变量即可产出大量太阳能级别或半导体级别的三氯氢硅。

将三氯氢硅装置与硅沉积装置整合，并利用DEI的私有技术将副产品转化为有用物质，良好的利用了原材料，并最小化废物排放。

硅沉积工艺的副产品HCl循环到三氯氢硅工艺中再利用，减少了所需要的HCl量。三氯氢硅工艺和沉积过程的副产品硅烷经过提纯转化为三氯氢硅，同样也循环利用了H2和HCl。

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